ASML ha dado un empujón adelante en el terreno de los escáneres litográficos con los de alta apertura numérica, pero sigue revisando sus modelos de baja AN por un tema de coste. Solo se necesitan los de alta AN en un número limtiado de capas cuando se produce un chip, las más complejas. Ahora la compañía ha anunciado la entrega de la primera unidad del TWINSCAN NXE:3800E, y por «entregar» hay que entender que lo está montando en la fábrica de su cliente.
Se trata de una versión actualizada del TWINSCAN NXE:3600D, el cual puede procesar más de 160 obleas por hora con una apertura numérica de 0.33 y una longitud de onda de 13.5 nm, lo cual es una zona de exposición de hasta 26 mm × 33 mm. ASML no ha dado detalles de la máquina, pero debería procesar más de 200 obleas por hora con unas características físicas similares. Es un escáner de luz ultravioleta extrema (UVP) cuyo coste rondará los 200 millones de dólares.
Vía: AnandTech.
